第135章 诸君,且听龙吟!
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“什么?!”
赵立春猛地转身,眼中精光爆闪:“光刻机?38纳米?自主研发?!”
他几步冲到客厅,一把打开电视。
画面中,央视新闻直播间,主持人正激动地播报:
“这是我国首台完全自主知识产权的38nm浸没式光刻机!打破《瓦森纳协定》封锁,标志着中国在高端半导体装备领域实现历史性突破!该项目已列入国家02重大专项,未来将支撑国产芯片全产业链发展!”
镜头切换至南湖工业园,巨大的红色横幅上写着:
“中国芯,汉东造!”
看到这里,赵立春惊呆了。
……
……
汉东省,京州市。
实际上,在赵立春看到消息之后,这都是很滞后的消息了。
赵立春看新闻前三天。
第一台光刻机已经弄出来了。
整个流程,基本上都是走完了。
清晨六点,天刚蒙蒙亮,但实验大厅内灯火通明,气氛凝重如铁。
七位白发苍苍的院士、教授已在此守候整夜。
他们平均年龄超过75岁,最年长的林振邦已是86岁高龄,拄着拐杖,却坚持站在第一排。
他身后,是周秉义,72岁,中科院微电子所原所长、
吴启明68岁,光刻光学系统首席专家,等中国半导体领域的“活化石”。
而赵崇明就跟这七个老教授站在一起。
就学术上来说,他们还是十分认同赵崇明的。
都不是把赵崇明当天才的,而是当成绝世天才那种。
一个个恨不得把自己脑子里的知识全都灌输给赵崇明,好让赵崇明继承他们的衣钵。
这是顶级的关门弟子。
而事实上还真不是这样。
因为他们懂的赵崇明懂,他们不懂的,赵崇明也懂。
这个小瘪犊子,实在是太妖孽了。
你跟他聊什么,他都能给你聊两句,如果他不懂了, 晚上只需要啃啃书,多交流交流,下一次,他就能跟你聊的头头是道。
就是搞不懂,他到底是从哪里掌握了这么多的知识。
让一群老教授恨不得把赵崇明收了当关门弟子。
其实,相当多的只是,赵崇明平时用不到,基本上是抛之脑后。
但是,这大半年的时间,赵崇明被这群老家伙给耳提命面,这些知识被充分的调动起来,几乎是形成了肌肉记忆
而这段时间的相处下来,也让老教授们发现,没法教了。
你说什么我都懂。
我甚至还能提出自己的看法。
赵崇明缺的不是知识。
他懂,但是,之前 从来都没有系统性的使用过而已。
他只是囫囵吞枣的吃下了这些知识,能不能用,如何用,这不是赵崇明的考虑范围。
现在被这群老教授逼着天天用,分分钟都在用。
让他彻底的吸收消化。的
然后……
说实话,当一群四五十岁的中年人喊自己师兄的时候,赵崇明是有一些尴尬的。
但是,没办法,就学术来说,赵崇明几乎跟他们的老师是一个级别的。
思路,想法,知识储备完全就是吊打他们。
如今,38nm浸没式光刻机已经安装完成——
由崇明科技自主研发组装;
此刻,中央派来的观察组已就位:
国家02专项总指挥
科技部副部长;
军委装备发展部代表;
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前,一身深色西装,神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手,轻声问:“林老,可以开始了吗?”
林振邦深深吸了一口气,眼中泛着泪光,却用力点头:“开……开机!”
赵崇明转身,按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机内部传来,如同巨龙苏醒。
激光源点亮,193nm深紫外光束穿过精密透镜组;
超纯水浸没系统启动,液膜均匀覆盖硅片表面;
纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小于3纳米。
大屏幕上,实时监控画面跳动:
曝光开始……
套刻精度:2.8nm(目标≤4nm)
线宽均匀性:±1.1nm(目标±1.5nm)
良率预测:92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整,线宽38.2nm,无断线、无桥接、无畸变。
成功了!
“成了!!”
吴启明突然嘶吼一声,老泪纵横,一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾!
科研人员相拥而泣,年轻的工程师跪在地上,双手捂脸,肩膀剧烈抽动。
军方代表摘下眼镜,悄悄擦拭眼角。
科技部副部长快步上前,紧紧握住赵崇明的手,声音哽咽:“小赵……你……你们给国家,争了一口气啊!”
赵崇明客气的开口道:“领导,您说笑了,这哪里是我一个人的功劳,这是大家集体的努力,不然,是没有这么容易的!”
而林振邦没有动。
他颤巍巍地走到晶圆前,伸出枯瘦的手,轻轻抚摸那冰冷的硅片表面,仿佛在触碰一个民族百年的梦。
忽然,他双膝一软,竟要跪下。
赵崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!该跪的是我们——是我们晚辈,让您等了太久!”
林振邦抬起头,满脸泪水,嘴唇哆嗦着,终于喊出那句埋藏了一生的话:
“艹……我林振邦活了八十六年,
今天,
终于看到——
华夏自己的光刻机,
刻出了自己的芯!”
话音未落,老人嚎啕大哭,像一个终于等到父亲归家的孩子。
全场肃立,无人言语。
唯有那台光刻机,仍在低鸣,
如龙吟,
如钟响,
如一个古老文明,在沉默百年后,
第一次向世界发出自己的声音。
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赵立春猛地转身,眼中精光爆闪:“光刻机?38纳米?自主研发?!”
他几步冲到客厅,一把打开电视。
画面中,央视新闻直播间,主持人正激动地播报:
“这是我国首台完全自主知识产权的38nm浸没式光刻机!打破《瓦森纳协定》封锁,标志着中国在高端半导体装备领域实现历史性突破!该项目已列入国家02重大专项,未来将支撑国产芯片全产业链发展!”
镜头切换至南湖工业园,巨大的红色横幅上写着:
“中国芯,汉东造!”
看到这里,赵立春惊呆了。
……
……
汉东省,京州市。
实际上,在赵立春看到消息之后,这都是很滞后的消息了。
赵立春看新闻前三天。
第一台光刻机已经弄出来了。
整个流程,基本上都是走完了。
清晨六点,天刚蒙蒙亮,但实验大厅内灯火通明,气氛凝重如铁。
七位白发苍苍的院士、教授已在此守候整夜。
他们平均年龄超过75岁,最年长的林振邦已是86岁高龄,拄着拐杖,却坚持站在第一排。
他身后,是周秉义,72岁,中科院微电子所原所长、
吴启明68岁,光刻光学系统首席专家,等中国半导体领域的“活化石”。
而赵崇明就跟这七个老教授站在一起。
就学术上来说,他们还是十分认同赵崇明的。
都不是把赵崇明当天才的,而是当成绝世天才那种。
一个个恨不得把自己脑子里的知识全都灌输给赵崇明,好让赵崇明继承他们的衣钵。
这是顶级的关门弟子。
而事实上还真不是这样。
因为他们懂的赵崇明懂,他们不懂的,赵崇明也懂。
这个小瘪犊子,实在是太妖孽了。
你跟他聊什么,他都能给你聊两句,如果他不懂了, 晚上只需要啃啃书,多交流交流,下一次,他就能跟你聊的头头是道。
就是搞不懂,他到底是从哪里掌握了这么多的知识。
让一群老教授恨不得把赵崇明收了当关门弟子。
其实,相当多的只是,赵崇明平时用不到,基本上是抛之脑后。
但是,这大半年的时间,赵崇明被这群老家伙给耳提命面,这些知识被充分的调动起来,几乎是形成了肌肉记忆
而这段时间的相处下来,也让老教授们发现,没法教了。
你说什么我都懂。
我甚至还能提出自己的看法。
赵崇明缺的不是知识。
他懂,但是,之前 从来都没有系统性的使用过而已。
他只是囫囵吞枣的吃下了这些知识,能不能用,如何用,这不是赵崇明的考虑范围。
现在被这群老教授逼着天天用,分分钟都在用。
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然后……
说实话,当一群四五十岁的中年人喊自己师兄的时候,赵崇明是有一些尴尬的。
但是,没办法,就学术来说,赵崇明几乎跟他们的老师是一个级别的。
思路,想法,知识储备完全就是吊打他们。
如今,38nm浸没式光刻机已经安装完成——
由崇明科技自主研发组装;
此刻,中央派来的观察组已就位:
国家02专项总指挥
科技部副部长;
军委装备发展部代表;
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前,一身深色西装,神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手,轻声问:“林老,可以开始了吗?”
林振邦深深吸了一口气,眼中泛着泪光,却用力点头:“开……开机!”
赵崇明转身,按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机内部传来,如同巨龙苏醒。
激光源点亮,193nm深紫外光束穿过精密透镜组;
超纯水浸没系统启动,液膜均匀覆盖硅片表面;
纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小于3纳米。
大屏幕上,实时监控画面跳动:
曝光开始……
套刻精度:2.8nm(目标≤4nm)
线宽均匀性:±1.1nm(目标±1.5nm)
良率预测:92.7%
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十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
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图形完整,线宽38.2nm,无断线、无桥接、无畸变。
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吴启明突然嘶吼一声,老泪纵横,一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾!
科研人员相拥而泣,年轻的工程师跪在地上,双手捂脸,肩膀剧烈抽动。
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科技部副部长快步上前,紧紧握住赵崇明的手,声音哽咽:“小赵……你……你们给国家,争了一口气啊!”
赵崇明客气的开口道:“领导,您说笑了,这哪里是我一个人的功劳,这是大家集体的努力,不然,是没有这么容易的!”
而林振邦没有动。
他颤巍巍地走到晶圆前,伸出枯瘦的手,轻轻抚摸那冰冷的硅片表面,仿佛在触碰一个民族百年的梦。
忽然,他双膝一软,竟要跪下。
赵崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!该跪的是我们——是我们晚辈,让您等了太久!”
林振邦抬起头,满脸泪水,嘴唇哆嗦着,终于喊出那句埋藏了一生的话:
“艹……我林振邦活了八十六年,
今天,
终于看到——
华夏自己的光刻机,
刻出了自己的芯!”
话音未落,老人嚎啕大哭,像一个终于等到父亲归家的孩子。
全场肃立,无人言语。
唯有那台光刻机,仍在低鸣,
如龙吟,
如钟响,
如一个古老文明,在沉默百年后,
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